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真空技术干燥会被如此广泛的应用，肯定是有自身的优势，真空干燥机比起一般普通干燥机具备以下优势： （1）使用更安全，在真空或惰性条件下，完全消除氧化物遇热爆炸的可能； （2）与依靠空气循环的普通干燥相比，粉末状样品不会被流动空气吹动或移动； （3）真空环境大大降低了需要驱除的液体的沸点，所以真空干燥可以轻松应用于热敏性物质； （4）对于不容易干燥的样品，例如粉末或其他颗粒状样品，使用真空干燥法可以有效缩短干燥时间； （5）各种构造复杂的机械部件或其他多孔样品经过清洗后使用真空干燥法，完全干燥后不留任何残余物质。